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功能特點(diǎn) ? ? ? ? ? ? ? ? |
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液氮系統(tǒng)可將樣品冷卻至-190°C取決於泵功率和熱塊尺寸 ? ? ? ? ? ? ? ? |
系統(tǒng)包括一臺(tái)泵、一個(gè)杜瓦瓶、一個(gè)帶塞子的蓋子（用於在操作期間重新填充）和連接管 ? ? ? ? ? ? ? ? |
提供三種液氮泵輸出選項(xiàng)，LN2-P2、LN2-P4和LN2-P8，它們通過(guò)設(shè)備吸入液氮，並由mK2000控制 ? ? ? ? ? ? ? ? |
三種杜瓦瓶尺寸，2L、10L和30L，帶有易於再填充的蓋子選項(xiàng)，以控制儀器的液氮供應(yīng) ? ? ? ? ? ? ? ? |
與mK2000 ? ?PID控制器集成±0.1%分辨率 ? ? ? ? ? ? ? ? |
*可做定制或改動(dòng)，詳詢(xún)上海恒商 ? ? ? ? ? ? ? ? |
技術(shù)規(guī)格 | |||
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? | LN2-P2 | LN2-P4 | LN2-P8 |
冷熱臺(tái) | |||
HCS302 / ? ?302G / 402 | -100℃ | -190℃ | -190℃ |
HCS321Gi | -60℃ | -80℃ | -190℃ |
HCS621G / ? ?421V | -160℃ | -190℃ | -190℃ |
HCS622G / ? ?422V | -100℃ | -190℃ | -190℃ |
FS1 | NA | -60℃ | -190℃ |
CLM77K / ? ?CLM77Ki | NA | -190℃ | -190℃ |
晶圓夾盤(pán)&冷熱平板 | |||
10mm 正方形或圓形 | -40℃ | -60℃ | -120℃ |
150mm正方形或圓形 | -20℃ | -40℃ | -100℃ |
200mm正方形或圓形 | NA | -30℃ | -80℃ |
300mm正方形或圓形 | NA | -20℃ | -60℃ |
HCC602正方形或圓形 | -120℃ | -170℃ | -190℃ |
*可做定制或改動(dòng)，詳詢(xún)上海恒商 | |||
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