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HCC602 冷熱夾盤

HCC602溫控晶圓夾盤支持 -190℃ ~ 600℃範(fàn)圍的樣品溫控，並且溫度均勻性好。主機(jī)設(shè)計(jì)小巧，可以集成到光學(xué)顯微鏡，紅外，拉曼光譜儀等設(shè)備，進(jìn)行溫控的同時(shí)支持光學(xué)觀察，也可集成到探針臺(tái)上，進(jìn)行電學(xué)測(cè)試。結(jié)構(gòu)緊湊，可集成到晶圓探針臺(tái)上，設(shè)計(jì)用於探針測(cè)試可編程控溫，涵蓋不同溫度段（具體由型號(hào)而定）適用不同尺寸晶圓的真空吸附槽設(shè)計(jì) 可降溫到 80K 可從溫控器或電腦軟件控制，可提供軟件SDK
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圓形溫控晶圓夾盤系列

Instec的圓形溫控晶圓夾盤系統(tǒng)是為晶圓和半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)計(jì)的。根據(jù)客戶的需求有不同尺寸、不同溫度段的型號(hào)供選。並有檯面電接地/電懸空，還有同軸/三同軸介面的細(xì)節(jié)差異。溫控晶圓夾盤的檯面溫度梯度很低，並且厚度設(shè)計(jì)的很薄，可以集成進(jìn)探針臺(tái)。並且臺(tái)體設(shè)有真空吸氣槽，可以利用負(fù)壓來(lái)吸附樣品。
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方形溫控晶圓夾盤系列

Instec的方形溫控晶圓夾盤系統(tǒng)是為晶圓和半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)計(jì)的。根據(jù)客戶的需求有不同尺寸、不同溫度段的型號(hào)供選。並有檯面電接地/電懸空，還有同軸/三同軸介面的細(xì)節(jié)差異。溫控晶圓夾盤的檯面溫度梯度很低，並且厚度設(shè)計(jì)的很薄，可以集成進(jìn)探針臺(tái)。並且臺(tái)體設(shè)有真空吸氣槽，可以利用負(fù)壓來(lái)吸附樣品。
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HCC602 溫控晶圓夾盤

支持600℃的樣品溫控
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TC系列溫控晶圓夾盤

TC系列溫控晶圓夾盤是基於半導(dǎo)體（帕爾貼）溫控的經(jīng)濟(jì)型溫控晶圓夾盤。相比傳統(tǒng)的電熱絲加熱方式，帕爾貼方式的溫控更準(zhǔn)，使用方便，並且在樣品區(qū)不大時(shí)低成減少。
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上海恒商精密儀器有限公司

Shanghai Hengshang Precision Instruments Co., Ltd

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HCC602 冷熱夾盤

圓形溫控晶圓夾盤系列

方形溫控晶圓夾盤系列

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TC系列溫控晶圓夾盤