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4200A-SCS 是一種可以量身定制、全面集成的參數(shù)分析儀，可以同步查看電流電壓(I-V)、電容電壓(C-V)和超快速脈衝式I-V 特性。作為高性能的參數(shù)分析儀，4200A-SCS 加快了半導體、材料和工藝開發(fā)速度。 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?

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I-V 源測量單元 ?(SMU)

●? ± 210 V/100 ?mA 或 ± 210 V/1 A 模組

●? 100 fA 測量解析度

●? 選配前端放大器提供了 10 ?aA 測量解析度

●? 10 mHz - 10 Hz 超低頻率電容測量

●? 四象限操作

●? 2 線或 4 線連接

C-V 多頻率電容單元 ?(CVU)

●? AC 阻抗測量 (C-V, ?C-f, C-t)

●? 1 kHz - 10 MHz 頻率範圍

● ± 30 V內(nèi)置 DC 偏置源，可以擴展到 ?± 210 V

●? 選配 CVIV 多通道開關(guān)，在 I-V 測量和 C-V 測量之間簡便切換

脈衝式 I-V 超快速脈衝測量單元 (PMU)

●? 兩個獨立的或同步的高速脈衝 ?I-V 源和測量通道

●? 200 MSa/s，5 ?ns 取樣速率

●? ±40 V (80 V ?p-p)，±800 mA

●? 瞬態(tài)波形捕獲模式

●? 任意波形發(fā)生器，支援多電平脈衝波形，10 ns 可程式設(shè)計解析度

高壓脈衝發(fā)生器單元 (PGU)

●? 兩個高速脈衝電壓源通道

●? ±40 V (80 V ?p-p)，± 800 mA

●? 任意波形發(fā)生器，支援多電平脈衝波形，10 ns 可程式設(shè)計解析度

I-V/C-V 多通道開關(guān)模組 ?(CVIV)

●? 在 I-V 測量和 C-V 測量之間簡便切換，無需重新佈線或抬起探針

●? 把 C-V 測量移動到任意端子，無需重新佈線或抬起探針

●? 支持 ±210 V DC 偏置源

遠端前端放大器 / 開關(guān)模組 (RPM)

● 在 I-V 測量、C-V 測量和超快速脈衝 I-V 測量之間自動切換

●? 把 4225-PMU 的電流靈敏度擴展到數(shù)十皮安

●? 降低電纜電容效應(yīng)