? ? 美國(guó) Lake Shore 低溫真空探針臺(tái)為材料以及早期的電子器件的非破壞電學(xué)測(cè)量提供了可控環(huán)境。
? ? 低溫真空探針臺(tái)可使物理科學(xué)家和研究員通過(guò)方便的,可重復(fù)的測(cè)量進(jìn)行基礎(chǔ)的科學(xué)研究並得到連續(xù)的結(jié)果。低溫真空探針臺(tái)是一個(gè)多用的靈活的研究平臺(tái),可被用於專用的或者多用的團(tuán)體研究資源。
? ? 典型的應(yīng)用包括樣品在整個(gè)溫度範(fàn)圍內(nèi)的IV和CV曲線測(cè)試,微波測(cè)試,光電測(cè)試,表征變磁環(huán)境下的磁輸運(yùn)特性,理解載流子濃度的霍爾效應(yīng)測(cè)試,和其他材料的研究。
型號(hào) | 磁場(chǎng) | 最多探針臂個(gè)數(shù) | 基本系統(tǒng)溫度範(fàn)圍 | 高溫選件 | 低溫選件 | 樣品最大尺寸 | 真空度 | 樣品座旋轉(zhuǎn)選件 |
閉循環(huán)無(wú)液氦低溫真空探針臺(tái) |
CRX-EM-HF | 0.6T水平磁場(chǎng)電磁鐵 | 4 | 8 K - 400 K | 20 K - 500 K | - | 25mm(1in)直徑 | 10-5?torr | ±360°(選件) |
CRX-VF | 2.25T垂直磁場(chǎng)超導(dǎo)磁體 | 6 | 10 K - 350 K | 10 K - 500 K | - | 51mm(2in)直徑 | 10-5?torr(標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng));10-7?torr(選件) | - |
CRX-4K | - | 6 | 4.5 K - 350 K | 20 K - 500 K | - | 51mm(2in)直徑 | 10-5 torr | - |
CRX-6.5k |
| 6 | <10 K - 350 K | 20 K - 500 K |
| 51mm(2in)直徑 | 10-5?torr |
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液氦液氮消耗低溫真空探針臺(tái) |
FWPX |
| 6 | 4.5 K - 475 K |
| 3.5K | 102mm | 10-5?torr | ±5° |
EMPX-HF | 0.5T水平磁場(chǎng)電磁鐵 | 4 | 4.5K - 400K;8K - 400K(帶360旋轉(zhuǎn)選件) |
| 3.2K | 25mm | 10-5?torr | ±360°(選件) |
CPX-HF | 1T水平磁場(chǎng)超導(dǎo)磁體 | 4 | 4.2K - 400K |
| 2k | 25mm | 10-5?torr |
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CPX-VF | 2.5T垂直磁場(chǎng)超導(dǎo)磁體 | 6 | 4.2K - 400K |
| 2k | 51mm | 10-5torr(標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng));10-7torr(高真空選件) ????????????? | ±5° |
CPX |
| 6 | 4.2 K - 475 K;10 K - 400 K(帶load-lock選件) | 20K-675K(高溫選件和 load-lock選件配合使用) | 2k | 51mm | 10-5torr(標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng));10-7torr(高真空選件) ????????????? | ±5° |
TTPX |
| 6 | 4.2 K - 475 K | 20K-675K | 2k | 51mm | 10-5?torr |
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? ? 美國(guó) Lake Shore CRX-EM-HF探針臺(tái)是一個(gè)不需要低溫制冷劑的探針臺(tái),它可以對(duì)器件進(jìn)行非破壞性的測(cè)試,器件的尺寸可達(dá)到25mm(1inch)。它可以對(duì)材料或器件的電學(xué)特性測(cè)量、光電特性測(cè)量、參數(shù)測(cè)量、high Z測(cè)量、DC測(cè)量、RF測(cè)量和微波特性測(cè)量提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái)。一般來(lái)講,納米電子材料、量子線、量子點(diǎn)和半導(dǎo)體材料是在CRX-EM-HF進(jìn)行測(cè)量的比較典型的材料。系統(tǒng)的探針、測(cè)試電纜、樣品架都有多種類型可供選擇,從而滿足不同用戶的需要。
產(chǎn)品介紹
? ? 使用Sumitiomo 公司的4K閉循環(huán)制冷機(jī),不需要消耗液氦和液氮,CRX-VF能提供的水平區(qū)域電磁場(chǎng)場(chǎng)強(qiáng)為6.0KOe(0.6T),它的溫度變化範(fàn)圍是8K-400K。加入高溫選件可測(cè)量的溫度變化範(fàn)圍是20K-500K。每一個(gè)低溫樣品級(jí)都安裝溫度計(jì)和加熱器,可以提供快速的熱響應(yīng),快速迅速回到室溫,樣品更換非常方便。熱輻射屏大大降低了黑體輻射,有很小的熱梯度。
? ? 系統(tǒng)采用了精心的設(shè)計(jì)來(lái)減低振動(dòng),采用各種減震裝置阻止機(jī)械振動(dòng)影響測(cè)量的性能。在全量程溫度範(fàn)圍內(nèi),樣品的振動(dòng)小於1um ( X, Y, Z軸)。
? ? 美國(guó) Lake Shore CRX-EM-HF可安裝4個(gè)可以進(jìn)行微調(diào)整的探針臂,每個(gè)探針臂上的探針都可以進(jìn)行3維方向上的定位。微波探頭可以±5°旋轉(zhuǎn),使樣品可以更好的和探針匹配。360°樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)選件允許你測(cè)量角度和測(cè)量器件的各異向性磁運(yùn)輸特性。探針根據(jù)尺寸和材料不同,分為多種類型,探針減少了熱質(zhì)量,優(yōu)化了和器件的電接觸性。每個(gè)探針都直接和冷頭進(jìn)行導(dǎo)熱,這樣就減小了探針對(duì)樣品的熱傳遞。
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? 產(chǎn)品特點(diǎn)
●? ? 0.6T水平方向電磁鐵磁場(chǎng)
●? ? ?采用閉循環(huán)制冷機(jī)制冷,不需消耗液氮或液氦,基本系統(tǒng)溫度範(fàn)圍:8K到400K
●? ? 探針臂傳上安裝溫度感器進(jìn)行溫度監(jiān)測(cè)
●? ? 控溫穩(wěn)定性:±50mK
●? ? 系統(tǒng)冷卻時(shí)間<4.5小時(shí)
●? ? 低振動(dòng)設(shè)計(jì):在樣品臺(tái)<1μm ( X, Y, Z軸)
●? ? 測(cè)量DC到67GHz
●? ? 各種樣品架適於低噪音,高頻,高阻測(cè)量
●? ? 測(cè)試樣品尺寸51mm(2in)直徑
●? ? 可使用6個(gè)探針臂
●? ? 探針臂可進(jìn)行3軸調(diào)整和平面內(nèi)±5度的調(diào)整
? ? 美國(guó) Lake Shore CPX 低溫真空探針臺(tái)可以對(duì)器件進(jìn)行非破壞性的測(cè)試,器件的尺寸可達(dá)到51mm(2inch)。它可以對(duì)材料或器件的電學(xué)特性測(cè)量、光電特性測(cè)量、參數(shù)測(cè)量、high Z測(cè)量、DC測(cè)量、RF測(cè)量和微波特性測(cè)量提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái)。一般來(lái)講,納米電子材料、量子線、量子點(diǎn)和半導(dǎo)體材料是在CPX在進(jìn)行測(cè)量的比較典型的材料。系統(tǒng)的探針、測(cè)試電纜、樣品架都有多種類型可供選擇,從而滿足不同用戶的需要。
產(chǎn)品介紹
? ?美國(guó) Lake Shore CPX 低溫真空探針臺(tái)的溫度變化範(fàn)圍4.2K到475K,加低溫選件後,溫度可降低到1.5K,加入高溫選件,可提供的溫度變化範(fàn)圍:20K-675K。系統(tǒng)需要使用液氦或液氮實(shí)現(xiàn)變溫,防輻射屏大大降低了黑體輻射,增加了制冷效率。冷頭上安裝兩個(gè)加熱器,減小了樣品的溫度梯度,加上防輻射屏上的加熱器,整個(gè)系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)快速的變溫。
? ? 美國(guó) Lake Shore CPX 低溫真空探針臺(tái)具有6個(gè)可以進(jìn)行微調(diào)整的探針臂,每個(gè)探針臂上的探針都可以進(jìn)行3維方向上的定位。專用的探針根據(jù)尺寸和材料不同,分為多種類型,探針減少了熱質(zhì)量,優(yōu)化了和器件的電接觸性。每個(gè)探針都直接和冷頭進(jìn)行導(dǎo)熱,這樣就減小了探針對(duì)樣品的熱傳遞。
? ? 為了提高系統(tǒng)的實(shí)用性,系統(tǒng)還可以提供1.5K的溫度擴(kuò)展選件、675K的高溫選件、高真空、Load Lock選件、振動(dòng)隔離裝置、LN2杜瓦、高放大倍數(shù)的顯微鏡、分子泵組、防輻射屏的溫度控制裝置、探針臂的光纖電纜等選件。
? 產(chǎn)品特點(diǎn)
●? ? 系統(tǒng)可使用液氮或液氦制冷,基本系統(tǒng)溫度範(fàn)圍:4.2 K to 475 K
●? ? ? 加入溫度選件,溫度範(fàn)圍可到1.5 K to 400 K 和 20 K to 675 K
●? ? ? 樣品臺(tái)可進(jìn)行面內(nèi)±5°旋轉(zhuǎn)
●? ? ? 測(cè)量DC到67GHz
●? ? ? 測(cè)試樣品尺寸51mm直徑
●? ? ? 可使用6個(gè)探針臂
●? ? ? 探針臂傳上安裝溫度感器進(jìn)行溫度監(jiān)測(cè)
●? ? ? 可提供Load-lock選件
●? ? ? 控溫穩(wěn)定性:±50mK
●? ? ? 探針臂3軸方向可調(diào)節(jié),並可進(jìn)行面內(nèi)±5°旋轉(zhuǎn)
●? ? ? 采用高真空選件,系統(tǒng)真空度可達(dá)到10-7 torr
●? ? ? 電纜、屏蔽和Guard保護(hù)進(jìn)一步減少了電噪聲和熱輻射損失
●? ? ? 可提供不同的選件和附件來(lái)滿足特定的科研測(cè)試需要