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產(chǎn)品詳情

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ST-500 系列液氦/液氨低溫探針臺

Janis ST-500系列探針站是一種研究儀器,旨在為矽片和器件提供價格合理的真空和低溫探測。經(jīng)驗證的ST-500低溫恒溫器是這些探測站的平臺,包括低振動技術(設計用於高空間解析度光學顯微鏡),以提供出色的樣品位置穩(wěn)定性。世界各地的研究人員正利用這些系統(tǒng)進行研究,包括MEMS、納米電子、超導、鐵電、材料科學和光學。有興趣看看Janis的其他客戶在他們的探測站方面取得了什麼成就?按一下此處查看他們的一些研究論文列表。點擊此處查看Janis探測站的演示,其中包括一些探測站客戶提供的應用
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Janis ST-500系列探針站是一種研究儀器,旨在為矽片和器件提供價格合理的真空和低溫探測。經(jīng)驗證的ST-500低溫恒溫器是這些探測站的平臺,包括低振動技術(開始時設計用於高空間分辨率光學顯微鏡),以提供出色的樣品位置穩(wěn)定性。世界各地的研究人員正利用這些系統(tǒng)進行研究,包括MEMS、納米電子、超導、鐵電、材料科學和光學。有興趣看看Janis的其他客戶在他們的探測站方面取得了什麼成就?單擊此處查看他們的一些研究論文列表。點擊此處查看Janis探測站的演示,其中包括一些探測站客戶提供的應用程序和參考文件。


ST-500型探測站的主要特點:

低振動水平和位置漂移

溫度範圍從~3.5 K到475 K(可選:8 K到650 K)(取決於探頭)

與液氮或液氦一起工作(了解我們的循環(huán)氣體冷卻器,無需使用制冷劑)

氦氣消耗量小於1升/小時

可容納高達2英寸(51毫米)直徑的晶圓(可選:高達8英寸[203毫米])

多達七個冷卻、易於互換、微操作的探針臂

從直流到67ghz的電測量

廉價的低頻探頭,易於更換

極低的三軸探頭臂泄漏電流,只有幾個fA

非接觸、非破壞性開爾文探針

多探針

帶有單模和多模光纖選項的光纖探針臂

通過樣品架進行傳輸測量的可選光接入

帶電纜和電線的附加電氣引線到樣品區(qū)

選用微型真空室,在真空條件下將樣品從手套箱轉(zhuǎn)移到探針站

單鏡系統(tǒng)組件的非常平滑的X-Y-Z行程級

可選活動卡盤

系統(tǒng)自定義選項

為你現(xiàn)有的“濕”探測站尋找一個無冷劑的選擇?可選的循環(huán)氣體冷卻器消除了“濕”系統(tǒng)中液氦的使用。了解更多。



Vibration level:

± 25 nm

Positional ?drift:

± 150 nm in 30 ?minutes

Vacuum ?environment:

Regular Vacuum ?(~10-5-10-6?mbar)
?High Vacuum (~10-6-10-7?mbar)
?Ultra High Vacuum (~10-8-10-9?mbar)

Temperature ?range:

~3.5 K to 475 K ?(DC Probes)?(650 K optional)
?~3.5 K to 450 K (MW Probes) (300 K - 535?K optional)

Cryogenic ?consumption:

Helium:? less than ?1 liter/hr;?Nitrogen:? less than 0.1 liter/hr

Temperature ?stability:

± 50 mK

Cooling time?(for ?standard 2" diameter sample mount):

~30 min to 10 K, ?~60 min to 5 K

Warming up time:

~45 min with ?quick warming up option (~4 hours without)

Sample mounts:
?2" (51 mm) diameter standard
?up to 8" (203 mm) optional

Ground Chuck
Electrically Isolated Chuck with Bias Voltage Coaxial Cable
Special Chuck for Light Transmission Experiments
Leadless Chip Carrier (LCC) Holder

Interchangeable ?Probe Arms:

DC/LF probes:?DC to 20 ?MHz with following tips available:
?- Tungsten tips with 0.1 to 200 micron tip radius (optional gold plating)
?- Special Tungsten bendable shank and tip (cat whisker) tips
?- Beryllium Copper soft tip with low contact resistance
?
?Coaxial or triaxial (a few fAmps leakage currernt) wiring
?
?Microwave probes:
?
0-40 GHz
?0-50 GHz
?0-67 GHz

Fiber probes:
?Single Mode
?UV-VIS or VIS-IR Multimode
?
?
Non-contact, non-destructive Kelvin probes
?
?Multi-tip probes

Optical top ?viewport access:

Standard?2.0" ?(51 mm) clear aperture
?Optional?up to 8" (203 mm) clear view

Monoscopes?with LCD ?19" monitor or USB camera and?smooth travel stages

7.1 zoom, 5 ?microns resolution (216X magnification)
?12.5:1 zoom, 3.4 microns resolution (508X magnification)
?16.1 zoom 2.2 microns (626X magnification)

Probe travel:?

ST-500-1

ST-500-2

X-axis:

1" (25 mm)

2" (51 mm)

Y-axis:

1" (25 mm)
?(15 mm with MW Probes)

2" (51 mm)
?(45 mm with MW Probes)

Z-axis:

10 mm (18 mm ?optional)

10 mm (18 mm ?optional)

X-, Y-, Z-axes ?probe translation (incremental units of graduation):

10 microns

12.5 microns

Probe ?translation resolution: X-, Y-, Z-axes:
?Motorized stages with much higher translation resolution are available.

5 microns

6.25 microns

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