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mini型溫控探針臺，可集成到光學(xué)設(shè)備

可編程控溫，涵蓋-190℃~1000℃（具體由型號而定）

適用 10 mm? ~ 50 mm 晶圓和器件

可抽真空的腔體，亦可充入保護氣體使用

獨立的四個探針，可從設(shè)備外部移動探針進行點針

可從溫控器或電腦軟件控制，可提供軟件SDK

*可做定制或改動，詳詢上海恒商

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溫度範圍

-190℃~400℃（負溫需配液氮制冷）

加熱塊材質(zhì)

銀

傳感器/溫控方式

升溫速率

100Ω鉑RTD / PID控制（含LVDC降噪電源）

≤30℃/min（at 100℃）

溫控速度

≥±0.01℃/min

溫度分辨率

0.01℃ ? ? ? ? ? ? ?RTD傳感器

溫度穩(wěn)定性

±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃）

軟件功能

可設(shè)溫控速率，可設(shè)溫控程序，可記錄溫控曲線

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探針

默認為錸鎢材質(zhì)的彎針探針

探針座

可從外部XYZ移動的探針臂

粗調(diào)模式+微調(diào)模式，

點針

從外部移動點針，每個探針座都可點到樣品區(qū)上任意位置

探針接口

默認為BNC接頭，可選三同軸接口

樣品臺面電位

默認為電接地，可選電懸空（作背電極），可選三同軸接口

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適用光路

反射光路

窗片

可拆卸與更替的窗片

物鏡工作距離

≥12 mm

上蓋窗片觀察

窗片範圍φ50mm，≤視角±40°?

負溫下窗片除霜

吹氣除霜管路

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適用樣品

10 mm ~? ?50 mm 直徑 （標準）

樣品腔高

8 mm

探針座

可從外部XYZ移動的探針臂

粗調(diào)模式+微調(diào)模式，XY粗調(diào)20mm

XY微調(diào)行程10mm,Z微調(diào) 3mm

氣氛控制

真空腔，也可充入保護氣體

外殼冷卻

可通循環(huán)水，以維持外殼溫度在常溫附近

臺體尺寸/重量

300 mm? x 300 mm x 40 mm / 4kg

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基本配置

真空型臺式探針臺、mK2000B溫控器

可選配件

安裝支架、液氮制冷系統(tǒng)、外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)、顯微鏡頭、

真空系統(tǒng)、測試源表、三同軸BNC、臺面電懸空、樣品接電引線

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TP102SV-MPS

溫度範圍 -30℃? ~ 160℃，樣品區(qū),40mm*40mm

HCP421SV-MPS

溫度範圍 -190℃ ~ 400℃，樣品區(qū) 28mm*30mm

HCP402SV-MPS

溫度範圍 -190℃? ~ 400℃，樣品區(qū) 50mm*50mm

HP1000SG-MPS

溫度範圍 35℃? ~ 1000℃，樣品區(qū) 25mm*25mm,氣密腔室

定制型號

按客戶需求定制，適用≤300mm晶圓樣品

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表征薄膜、二維材料、納米材料和分子/有機材料器件的電性能測試

需要加熱塊表面電接地、接同軸BNC接口、三同軸BNC接口的

需要鎢錸探針、鈹銅探針或其他材料的探針的

需要從外部對臺體內(nèi)探針進行XYZ移動的

晶圓、半導(dǎo)體器件、集成電路、印刷電路板、光伏板、LCD/LED測試

測量IV和CV特性、擊穿電壓、漏電流、電阻、介電常數(shù)和二極管效率