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產(chǎn)品詳情

BD-6探針臺(tái)

*大旋鈕探針臺(tái) *可兼顧直流和射頻應(yīng)用 *針座平臺(tái)可上下升降 *加裝探針卡使用

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產(chǎn)品介紹
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介	平臺(tái)快速及微調(diào)1micron重復(fù)性的上下功能，搭配點(diǎn)針卡功能可作元件Die Stepping的Die To Die應(yīng)用，晶圓卡盤配置XY旋鈕配置增加握感，使元件達(dá)到快速25mm/轉(zhuǎn)及精細(xì)調(diào)整10micrn重復(fù)性，廣受半導(dǎo)體廠及IC設(shè)計(jì)公司好評(píng)。
功能特點(diǎn)	大旋鈕高精度工作臺(tái)；無齒隙自由移動(dòng)；適用於12個(gè)探針座的安裝；可安裝4.5”英寸探針卡支架；平臺(tái)高度可調(diào)；顯微鏡架橋附有探針座備用區(qū)；配備方便鏡頭切換的顯微鏡仰角
應(yīng)用	基礎(chǔ)IV/CV；射頻，毫米波；高壓、大電流
配件	帶溫度控制器的熱卡盤		防震桌	屏蔽箱
規(guī)格參數(shù)	探針臺(tái)面積	760 mm 寬 ? ?x 660mm 深
	探針臺(tái)高度	220mm(到平臺(tái))/700 mm (到顯微鏡)
	探針臺(tái)重量	80kg
	平臺(tái)材料	硬鉻電鍍鋼
	平臺(tái)尺寸	250mm?U型缺口寬, 450mm 外部
	平臺(tái)容量	12 DC 或 4 ? ?RF 4 DC
	定位器安裝	磁性O(shè)N/OFF開關(guān)
	真空開關(guān)的數(shù)量	4
	平臺(tái)z軸移動(dòng)範(fàn)圍	25 mm (精調(diào)), ? ?6 mm (快速)
	平臺(tái)z向精度	1 µm
	平臺(tái)z向運(yùn)動(dòng)	齒輪和鏈條（精調(diào)），拉桿（快速）
	卡盤材料	不銹鋼
	卡盤臺(tái)類型	大旋鈕高精度工作臺(tái)
	卡盤行程範(fàn)圍	6” x 6”
	卡盤快速移動(dòng)	Y型導(dǎo)軌快速移動(dòng)，可輕松裝載樣品
	卡盤精度	1 µm
	卡盤Theta粗調(diào)行程	360˚
	卡盤Theta精度	0.01˚
	大旋鈕卡盤移動(dòng)	高精度線性探針臺(tái)
	卡盤大小	6” (150 mm)
	卡盤平面度	3 µm
	卡盤剛度	15 µm / 10 N @ 邊沿
	卡盤真空槽	中心，0.5”, 1.5” ,2.5”（單獨(dú)控制）
	卡盤偏置容量	可達(dá)到 2 kV
	卡盤隔離	5 GΩ
	DUT 尺寸範(fàn)圍	2 mm - 150 mm
	顯微鏡滑臺(tái)類型	高精度線性探針臺(tái)
	顯微鏡滑臺(tái)精度	1 µm
	顯微鏡滑臺(tái)行程範(fàn)圍	2” x 2”
	顯微鏡仰角	35˚
	顯微鏡變焦範(fàn)圍	1x - 5x
	顯微鏡目鏡	20x
	顯微鏡放大範(fàn)圍	20x-100x
?	高倍金像顯微鏡	可選配

探針座選擇
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探針座都提供X-Y-Z直線運(yùn)動(dòng)行程，無齒隙，安裝選項(xiàng)包括磁鐵、真空或磁鐵開關(guān)底座
	EB-050 精度：0.8μm 螺釘分辨率：212μm 行程範(fàn)圍：線性12 mm X-Y-Z尺寸：52 ?mm W X 96 mm D X 76 mm H重量：550 g 用途：支持DC/RF
	EB-700 精度：2μm 螺釘分辨率：630μm 行程範(fàn)圍：線性12 mm ?X-Y-Z尺寸：38 mm W X 62 mm D X 45 mm H重量：200 g 用途：僅DC
	EB-005 精度：0.3μm 螺釘分辨率：125μm 行程範(fàn)圍：線性12 mm X-Y-Z尺寸：90 ?mm W X 130 mm D X 90 mm H重量：1000 g 用途：支持DC/RF