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產(chǎn)品詳情
CG-196探針臺(tái)
CG系列為高低溫探針臺(tái) *可實(shí)現(xiàn)液氮77K(-196 ℃)到﹢200℃的溫度測(cè)試 *可提供10-6torr的真空環(huán)境， 防震系統(tǒng)一體化設(shè)計(jì)*配置液氮瓶、真空泵及顯微鏡機(jī)構(gòu) *標(biāo)配4個(gè)真空探針臂，可升級(jí)到6個(gè)
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產(chǎn)品介紹 | ||
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特性- | -溫度範(fàn)圍：77K—480K? (-196℃—200℃) -框架采用焊接以保證堅(jiān)固的結(jié)構(gòu) -通過外置探針座來控制探針重新定位 -顯微鏡移到架橋邊以方便打開真空倉 -顯微鏡視野可使用滑臺(tái)控制移動(dòng)，X-Y軸移動(dòng)範(fàn)圍 25mmx25mm,定位精度1微米 -可升級(jí)到6個(gè)探針座 -同軸卡盤高低溫時(shí)可達(dá)到10pA精度 -配備防震桌 -可選擇高真空腔(10 exp-6 Torr) -可量測(cè)射頻50GHz | |
詳細(xì)規(guī)格 | -卡盤直徑40mm -溫度的精度為0.1度 -液氮瓶50升 -探針座X-Y-Z三軸移動(dòng)範(fàn)圍：25mmx25mmx25mm，精度1微米 -顯微鏡X-Y軸移動(dòng)範(fàn)圍：1英寸x1英寸 連續(xù)變焦：0.7X—-4.5X 目鏡：20X 總放大倍數(shù)：14X—90X 150W燈源箱 雙分支鵝頸管燈源 ??4個(gè)調(diào)平支腿 | |
配置 | 電源：220V、60Hz、1500W 液氮：50升 液氮罐 | |
規(guī)格 | 尺寸：1300mm長x1100mm寬x1500mm高 重量：300Kg | |
操作說明 | ??? 溫度控制單元 | 當(dāng)需要溫度達(dá)到室溫以下時(shí)，卡盤需要通過液氮來降溫以達(dá)到溫度低於事先設(shè)置的溫度。比例積分微分控制器可以控制溫度來加熱卡盤中的加熱組件。 |
液氮單元 | 使用液氮降溫，蒸發(fā)後氮?dú)饧訅阂旱撈可峡臻g來推動(dòng)液氮的流出，液氮的流量可以使用額外氮?dú)獾募訅?、液氮鋼瓶的出口閥和氮?dú)馀艢忾y來控制。 | |
真空倉單元 | 真空倉使用真空泵產(chǎn)生10 exp -3 Torr，提供給很低的溫度應(yīng)用； BNC母接頭用來連接儀表的信號(hào)裝置； 真空泵配備排氣過濾裝置，以避免汙染客戶的環(huán)境； | |
探針座單元 | 所有探針座都在真空倉外設(shè)置，這將幫助工程師在真空環(huán)境下進(jìn)行量測(cè)。特別是，當(dāng)溫度降低的時(shí)候，晶圓開始收縮，探針已經(jīng)偏離需要量測(cè)的測(cè)試樣品，工程師需要重新定位探針，將探針紮到測(cè)試樣品上。 | |
顯微鏡單元 | 顯微鏡可以通過架橋結(jié)構(gòu)移動(dòng)到旁邊，以方便打開真空倉的蓋子。顯微鏡可以通過真空倉上面的窗口觀看探針做的定位， LED光圈光源采用無段式旋鈕控制亮度 | |
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