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產(chǎn)品詳情

EB-6探針臺(tái)

*同軸旋鈕 *可單手同時(shí)操作卡盤XY軸移動(dòng) *樣品可快速移動(dòng)到指定位置進(jìn)行量測(cè)

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產(chǎn)品介紹
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介	EB系列是我們的旗艦探針臺(tái)產(chǎn)品線,在DC和RF應(yīng)用中提供可重復(fù)的，良好的測(cè)量奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。
功能特點(diǎn)	-同軸滑臺(tái)驅(qū)動(dòng)的探針臺(tái) ??? XY同軸載物臺(tái)低重心僅25mm厚 ??? 用戶友好的一只手抓住兩個(gè)XY旋鈕 ??? 快速移動(dòng)25mm /轉(zhuǎn) 方便快速找到目標(biāo)物 ??? 精細(xì)定位10微米Die目標(biāo)物 -卡盤上/下調(diào)整 ???? 卡盤快速Z-移動(dòng)：4毫米（可選大旋鈕滑臺(tái)） -無(wú)間隙運(yùn)動(dòng) -可安裝12個(gè)探針座 -可安裝4.5英寸探針板支架 -探針座備用區(qū) -用於方便鏡頭切換的顯微鏡仰角
應(yīng)用	基礎(chǔ)IV/CV；射頻，毫米波；高壓，高電流
配件	帶溫度控制器的熱卡盤		防震桌	屏蔽箱
規(guī)格參數(shù)	探針臺(tái)面積	580 mm 寬 ? ?x 460mm 深
	探針臺(tái)高度	200mm(到平臺(tái))/700 mm (到顯微鏡)
	探針臺(tái)重量	60kg
	平臺(tái)材料	硬鉻電鍍鋼
	平臺(tái)尺寸	250 mm內(nèi)部, ? ?450mm 外部
	平臺(tái)容量	12 DC 或 4 ? ?RF 4 DC
	探針座安裝	磁性O(shè)N/OFF開關(guān)
	真空開關(guān)的數(shù)量	4
	卡盤材料	不銹鋼
	卡盤臺(tái)類型	同軸（大旋鈕高精度滑臺(tái)）
	卡盤行程範(fàn)圍	6” x 6”
	卡盤快速移動(dòng)	25mm/rev
	卡盤精度	1 µm
	卡盤旋轉(zhuǎn)粗調(diào)行程	360˚
	卡盤旋轉(zhuǎn)精度	0.01°
	卡盤 Z向移動(dòng)	4mm 範(fàn)圍
	卡盤 Z 向精度	10 µm
	同軸卡盤運(yùn)動(dòng)	斜面齒輪和齒條0.8mm間距
	大旋鈕卡盤移動(dòng)	高精度線性探針臺(tái)
	卡盤大小	6” (150 mm)
	卡盤平面度	3 µm
	卡盤剛度	15 µm / 10 N @ 邊沿
	卡盤真空槽	中心，1.5”, 3” ,5”（單獨(dú)控制）
	卡盤偏置容量	可達(dá)到 2kV
	卡盤隔離	5 GΩ
	DUT 尺寸範(fàn)圍	2 mm - 150 mm
	顯微鏡滑臺(tái)類型	高精度線性探針臺(tái)
	顯微鏡滑臺(tái)精度	1 µm
	顯微鏡滑臺(tái)行程範(fàn)圍	2” x 2”
	顯微鏡仰角（可選）	35°
	顯微鏡變焦範(fàn)圍	1x - 5x
	顯微鏡目鏡	20x
	顯微鏡放大範(fàn)圍	20x-100x
?	高倍金像顯微鏡????	可選配

探針座選擇
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探針座都提供X-Y-Z直線運(yùn)動(dòng)行程，無(wú)齒隙，安裝選項(xiàng)包括磁鐵、真空或磁鐵開關(guān)底座
?	EB-050 精度：0.8μm 螺絲精度：212μm 行程範(fàn)圍：線性12 mm X-Y-Z尺寸：52 ?mm W X 96 mm D X 76 mm H重量：550 g 用途：支持DC/RF
?	EB-700 精度：2μm 螺絲精度：630μm 行程範(fàn)圍：線性12 mm ?X-Y-Z尺寸：38 mm W X 62 mm D X 45 mm H重量：200 g 用途：僅DC
?	EB-005 精度：0.3μm 螺絲精度：125μm 行程範(fàn)圍：線性12 mm X-Y-Z尺寸：90 ?mm W X 130 mm D X 90 mm H重量：1000 g 用途：支持DC/RF