Instec的方形溫控晶圓夾盤系統(tǒng)是為晶圓和半導(dǎo)體測試設(shè)計的。根據(jù)客戶的需求有不同尺寸、不同溫度段的型號供選。並有檯面電接地/電懸空，還有同軸/三同軸介面的細節(jié)差異。
溫控晶圓夾盤的檯面溫度梯度很低，並且厚度設(shè)計的很薄，可以集成進探針臺。並且臺體設(shè)有真空吸氣槽，可以利用負壓來吸附樣品。
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HCS302G的特色是氣密性腔室。能同時進行對樣品的溫控、氣氛控制和光學(xué)觀察。腔內(nèi)能充入保護氣體，從而冷熱臺即使在 -190℃ 這樣的極地溫度條件下，也不會產(chǎn)生結(jié)霜，避免影響顯微鏡等儀器的觀察。 另外，腔內(nèi)的保護性氣氛，也能避免實驗時樣品發(fā)生氧化。HCS302G還有樣品XY移動型號，支援對樣品位置作好定位。*支持定制 -
HS1400是溫度可達1400℃的熱臺，適用于制陶、冶金、地質(zhì)、高溫材料等領(lǐng)域。冷熱臺內(nèi)默認為氣密腔，充入保護氣體可防止樣品高溫時發(fā)生氧化。 HS1400還可升為真空腔，腔室內(nèi)可抽真空，也可充入保護氣體，並支持抽真空後通入氣氛這樣的複雜操作。HS1400還有樣品XY移動型號，支援對樣品位置作好定位。*支持定制 -
使用光電手段進行液晶面板的視角、響應(yīng)時間、色溫、透射/反射光譜測試。*支持定制 -
HCP622G-PS是探針外部移動式的溫控探針臺。設(shè)備包含4個可從外部進行三軸移動的探針機構(gòu)。這種設(shè)計適用於需要在移動點針位置的實驗應(yīng)用。 HCP622G-PS的溫度範圍為 -190℃ ~ 600℃。上蓋帶有可供顯微鏡觀察的視窗。設(shè)備使用時還可對樣品氣氛進行控制。這樣即使在低溫度下，腔體也不產(chǎn)生結(jié)霜影響實驗，又可以防止樣品發(fā)生氧化。*支持定制 -
為企業(yè)客戶客戶品質(zhì)控制需求，Instec提供適用55英寸面板的冷熱平板，用於對真實面板進行檢測。 冷熱平板採用接觸式加熱，加熱迅速，溫度精度和均勻性好。設(shè)備使用方便，足以取代笨重、操作有風(fēng)險性、步驟複雜的大型溫控腔。*支持定制 -
HCP622G是應(yīng)用廣的冷熱平板，適用於反射光光路的觀察。冷熱平板能同時進行溫度控制、氣氛控制、樣品電測試和光學(xué)觀察。 HCP622G的腔內(nèi)能充入保護氣體，還支持在腔內(nèi)安裝接線柱。從而實現(xiàn)對密閉腔室裡的樣品進行電測試。*支持定制 -
TS102W是一款基于半導(dǎo)體（帕爾貼）溫控的經(jīng)濟型冷熱臺，溫度范圍 -30℃~90℃，特點是觀察窗孔很大，支持高達60°的出入射角度。適合大角度光路應(yīng)用，比如X射線衍射實驗。 相比傳統(tǒng)的電熱絲加熱方式，TS102W這類的帕爾貼冷熱臺溫控準，使用方便，并且在樣品區(qū)不大時成本降低。 TS102的另一個特色是可以將載玻片作為樣品，從側(cè)面直接送入腔室，并可通過XY移動尺對樣品位置作好定位，使用方便。另外，黑色的臺體可以避免反光，適合集成在不同光路中，使用搭配很自由。*支持定制 -
HCS421V是應(yīng)用廣的氣密型冷熱臺。能進行 -190℃~400℃ 範圍的樣品控溫，並同時進行氣氛控制和光學(xué)觀察。腔室內(nèi)可抽真空，也可充入保護氣體。這樣即使在低溫度下，冷熱臺也不產(chǎn)生結(jié)霜影響顯微鏡等儀器的觀察，又可以防止實驗時樣品發(fā)生氧化。 HCS421V支援多種步驟複雜的應(yīng)用，例如冷凍乾燥實驗，抽真空後通入氣氛，等等。其還有樣品XY移動型號，支持對樣品位置作好定位。*支持定制
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